绿松石抛光液
绿松石抛光液是以高纯度硅粉为原料,经特殊工艺生产的一种高纯度低金属离子型抛光产品。 绿松石抛光液主要用于蓝宝石衬底的抛光。还可广泛用于多种材料纳米级的高平坦化抛光,如:硅片、化合物晶体、精密光学器件、宝石等的抛光加工。
绿松石抛光液的特点:
1.高抛光速率,利用大粒径的胶体二氧化硅粒子达到高速抛光的目的。
2.高纯度(Cu含量小于50 ppb),有效减小对电子类产品的沾污。
3.高平坦度加工, 绿松石抛光液是利用SiO2的胶体粒子进行抛光,不会对加工件造成物理损伤,达到高平坦化加工。
绿松石抛光液根据pH值的不同可分为酸性抛光液和碱性抛光液。
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